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氮气在集成电路、半导体中有什么用途呢？下面就由郑州瑞安气体科技有限公司带大家了解一下吧。

在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，好品质的氮气多少钱一瓶，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。

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氮气的碳脱氧法是如何的呢？下面就由郑州瑞安气体科技有限公司带大家了解一下吧。

在碳载型催化剂作用下（在一定温度下），普氮中之残氧和催化剂本身提供的碳发生反应，生成co2。反应式：c+o2=co2。再经过后级除co2和h2o获得下列组成的高纯氮气：n2***99.999%，o2≤5×10-6，co2≤5×10-6，h2o≤10.7×10-6。制氮成本在0.6元/m3左右。

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